超聲電機(jī)壓電致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的精密滑臺(tái)應(yīng)用，超聲電機(jī)高精度（亞微米級(jí)別）、體積小、扭力大、適應(yīng)溫度范圍-40℃到105℃，配合外置或者內(nèi)置閉環(huán)控制進(jìn)行高精度，可應(yīng)用于精密測(cè)量滑臺(tái)產(chǎn)品。
目前滑臺(tái)產(chǎn)品，普遍使用步進(jìn)電機(jī)控制馬達(dá)，但是方案體積大，精度低，無位置反饋，應(yīng)用的小滑臺(tái)中，由于一般精度無法到達(dá)微米級(jí)別。
壓電致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的滑臺(tái)產(chǎn)品，超聲電機(jī)高精度、體積小可以將滑臺(tái)任意疊放組合，不產(chǎn)生干涉。
微型體積輸出大推力，閉環(huán)控制，將微型高精度閉環(huán)控制系統(tǒng)安裝在微型超聲電機(jī)背部，實(shí)現(xiàn)位置反饋，運(yùn)動(dòng)過程中將信息傳導(dǎo)到超聲電機(jī)伺服控制電路從而控制微型超聲電機(jī)精準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)。
超聲電機(jī)伺服控制電路支持物理限位尋零功能。
滑臺(tái)精度達(dá)到亞微米級(jí)別。使用三階微控超聲電機(jī)技術(shù)制作的滑臺(tái)具有明顯優(yōu)勢(shì)。
