隨著中國科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，當(dāng)今工業(yè)領(lǐng)域?qū)Ω呔茏詣踊刂频男枨笕諠u增大，對微型電機的要求也越來越高，傳統(tǒng)的電磁電機已有100多年的發(fā)展史。在理論、設(shè)計方法、制造技術(shù)等都存在著諸多限制，難以滿足當(dāng)前工業(yè)領(lǐng)域的要求。
工業(yè)領(lǐng)域?qū)ξ⑿碗姍C的要求：
1、低速：傳統(tǒng)電機都是以高轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)的，一般為：2800、1400、960、720r/min四種轉(zhuǎn)速，這種轉(zhuǎn)速很難滿足各種工業(yè)設(shè)備運行的需要，90%的電機必須與龐大的減速機構(gòu)配套使用，這不僅會使系統(tǒng)尺寸、重量增加，而且造成噪聲增加慣量、降低效率，嚴重影響到系統(tǒng)性能。
2、體積小：電磁微電機采用傳統(tǒng)電磁驅(qū)動方式，利用精密機械加工或IC工藝，實現(xiàn)小型化，已在毫米級微電機研制中取得較大進展，但由于“尺寸效應(yīng)”影響，進一步微型化面臨困難。超聲波微電機采用摩擦力為驅(qū)動力，尺寸效應(yīng)的負面影響較小，是微機械的良好動力源
3、精度高：產(chǎn)業(yè)機械機構(gòu)傳動及加工主要來自馬達的機械性能，同時其定位功能也直接關(guān)系機械運動的精確度，因此優(yōu)良的馬達定位技術(shù)是許多工業(yè)控制器的必備條件。由于控制馬達常見的種類只有步進馬達、伺服馬達的定位功能是產(chǎn)業(yè)機械化向自動化發(fā)展的重要基本因素。近年來集成電路、電子制造業(yè)的蓬勃發(fā)展，對高速而精準的馬達點對點運動有迫切的需求。
