超聲波電機(jī)即超聲電機(jī)，也稱微型電機(jī)，是一種新型的驅(qū)動(dòng)裝置，具有體積小、大力矩、高響應(yīng)、抗干擾、低噪音、耐高低溫等優(yōu)勢。超聲波電機(jī)是廣泛應(yīng)用于醫(yī)療器械、云臺(tái)、精密機(jī)械、光學(xué)領(lǐng)域、自動(dòng)化控制部件等各個(gè)領(lǐng)域不可缺少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。
超聲波電機(jī)產(chǎn)品種類繁多、應(yīng)用面廣、要求多樣，其需求量快速增加的同時(shí)對微電機(jī)的品質(zhì)要求也在不斷提高。隨著設(shè)計(jì)水平、制造水平的不斷提高以及新材料、新結(jié)構(gòu)、新原理的運(yùn)用，微電機(jī)技術(shù)發(fā)展迅速。為了提高市場競爭能力，不斷降低成本，滿足各個(gè)領(lǐng)域的需要，微型電機(jī)行業(yè)正在加速朝著高效性、專業(yè)化、規(guī)?；?、智能化生產(chǎn)方向發(fā)展。
微型電機(jī)具有以下特點(diǎn)：
給超聲波電機(jī)輸入驅(qū)動(dòng)電壓后，壓電材料產(chǎn)生壓電現(xiàn)象，同時(shí)發(fā)生的縱向延伸和橫向彎曲模式的激勵(lì)在陶瓷指尖的狹小的橢圓通道里產(chǎn)生二維聲波，從而產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力進(jìn)行直線或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。但沒有驅(qū)動(dòng)電壓的時(shí)候能夠維持一個(gè)保持力矩，不產(chǎn)生位移和滯后。
超聲波電機(jī)定位精確，分辨率可達(dá)1μm，精度10nm，運(yùn)動(dòng)速度平穩(wěn)，低10μm/s，高250mm/s，標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)答時(shí)間為50～75μs，整定時(shí)間明顯優(yōu)于一般伺服電動(dòng)機(jī)，以0.1μm的分辨率為例，只需1～2ms，為一般伺服電動(dòng)機(jī)的1/10，定位后沒有一般伺服電動(dòng)機(jī)存在的晃動(dòng)問題，而且超聲電機(jī)具有重量輕，體積小，行程無限制等特點(diǎn)。
