微型電機(jī)是以超聲頻域的機(jī)械振動(dòng)為驅(qū)動(dòng)源的驅(qū)動(dòng)器。用戶在選擇電機(jī)時(shí)，往往會(huì)因速度過(guò)快或扭矩過(guò)小而無(wú)法滿足產(chǎn)品需求。此時(shí)微型電機(jī)是最合適、最直接的解決方案。
隨著國(guó)家科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，微型電機(jī)在各行業(yè)各中的應(yīng)用及其廣泛，特別是在光學(xué)領(lǐng)域，精密機(jī)械領(lǐng)域。微型電機(jī)有兩大類別：中空電機(jī)和小型電機(jī)。
中空電機(jī)的電機(jī)軸為空心鐵芯，結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，造型美觀，承受過(guò)載能力強(qiáng)等特點(diǎn)。
小型電機(jī)的電機(jī)軸為實(shí)心鐵芯，定位精確，分辨率可達(dá)1μm，精度10nm，運(yùn)動(dòng)速度平穩(wěn)，低10μm/s，高250mm/s，標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)答時(shí)間為50～75μs，整定時(shí)間明顯優(yōu)于一般伺服電動(dòng)機(jī)，以0.1μm的分辨率為例，只需1～2ms，為一般伺服電動(dòng)機(jī)的1/10，定位后沒(méi)有一般伺服電動(dòng)機(jī)存在的晃動(dòng)問(wèn)題，而且超聲波電機(jī)具有重量輕，體積小，行程無(wú)限制等特點(diǎn)。
