在超聲波馬達(dá)問世之前，實(shí)際上已有利用壓電材料振動特性來驅(qū)動的壓電馬達(dá)，惟其頻率并不限于超聲波的范圍。早在1948年威廉和布朗就申請了「壓電馬達(dá)」的美國專利;1961年寶路華鐘表公司研制出音叉驅(qū)動的手表;1970~1972年西門子和松下兩公司發(fā)展出線型壓電步進(jìn)馬達(dá)，不過因?yàn)闊o法達(dá)到較大的輸出力及效率，所以當(dāng)時并沒有普遍地應(yīng)用。
1973年美國IBM公司的巴特(H.V. Barth)，首次提出利用壓電組件以超聲波振動的方式來驅(qū)動的馬達(dá)，但因?yàn)槟ズ纳系膯栴}，和之前的手表案例一樣，僅發(fā)表出來而沒有實(shí)際上的應(yīng)用。幾乎同時，俄國人V.H. Lavrinenko也設(shè)計了一些驅(qū)動原理相同的馬達(dá)結(jié)構(gòu);1978年瓦西里耶夫(P.E. Vasiliev)則是利用超聲波轉(zhuǎn)換器作為馬達(dá)的驅(qū)動來源，不過都沒有發(fā)展出完整的馬達(dá)結(jié)構(gòu)。
1980年日本指田年生(Toshiiku Sashida)研制出以振動片驅(qū)動的超聲波馬達(dá)，具有較完整的馬達(dá)結(jié)構(gòu)。至此，以壓電材料產(chǎn)生超聲波振動來驅(qū)動馬達(dá)的概念就開始慢慢地發(fā)展起來。雖然因?yàn)槟ズ囊约皽囟壬仙葐栴}，使得這些超聲波馬達(dá)仍然沒有實(shí)際的應(yīng)用，不過已具有高精度、低速高轉(zhuǎn)矩等特色。
直到1982年，指田年生又發(fā)展出一種新型的超聲波馬達(dá)驅(qū)動方式，在設(shè)計上已經(jīng)考慮到磨耗的改善，這才是第一個真正達(dá)到具有商業(yè)應(yīng)用價值的超聲波電機(jī)。
