精密定位平臺(tái)也叫電動(dòng)滑臺(tái)、精密定位滑臺(tái)。隨著半導(dǎo)體光刻技術(shù)、微型機(jī)械、精密測量、超精密加工、微裝配和納米技術(shù)的迅速發(fā)展，對精密定位系統(tǒng)的行程、速度和精度等提出了越來越高的要求，其控制精度在微米級，甚至納米級的范圍內(nèi)。
精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是集精密位置檢測技術(shù)、驅(qū)動(dòng)技術(shù)、直線導(dǎo)向技術(shù)、控制技術(shù)為一體的有機(jī)綜合體。其中，驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)直接決定了平臺(tái)的速度、精度、行程和整個(gè)系統(tǒng)的效率。
在傳統(tǒng)的定位技術(shù)中，常用伺服電機(jī)+滾珠絲杠的方式，由于具有運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，不可避免地存在間隙誤差，雖然經(jīng)過預(yù)緊后可實(shí)現(xiàn)良好的傳動(dòng)精度，但使其達(dá)到納米級精度代價(jià)不菲。超聲波電機(jī)是利用壓電材料的逆壓電特性，激發(fā)電機(jī)定子的機(jī)械振動(dòng)，通過定轉(zhuǎn)子之間的摩擦力，將電能轉(zhuǎn)換為機(jī)械能輸出，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子的定向運(yùn)動(dòng)。
超聲電機(jī)具有結(jié)構(gòu)簡單、響應(yīng)快、斷電自鎖、不受電磁干擾等特點(diǎn)，同時(shí)具有較大的行程以及納米級的位移分辨率。
