微型電機(jī)種類繁多，可分為直流電機(jī)、交流電機(jī)、步進(jìn)電機(jī)、直線電機(jī)、微型電動(dòng)機(jī)、壓電電機(jī)、特種電機(jī)等等。微型電機(jī)無(wú)繞組和磁極，無(wú)需通過(guò)電磁作用產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)力，而是利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)和超聲振動(dòng)，將材料的微觀變形通過(guò)機(jī)械共振放大和摩擦耦合轉(zhuǎn)換成轉(zhuǎn)子的宏觀運(yùn)動(dòng)。
微特電機(jī)在結(jié)構(gòu)上大體可分為3類 ：
1.電磁式
基本組成與普通電機(jī)相似，包括定子、轉(zhuǎn)子、電樞繞組、電刷等部件，但結(jié)構(gòu)格外緊湊。
2.組合式
常見(jiàn)的有兩種：上述各種微電機(jī)的組合；微電機(jī)與電子線路的組合。例如直流電動(dòng)機(jī)與傳感器的組合，X方向與Y方向直線電動(dòng)機(jī)的組合等。
3.非電磁式
外形結(jié)構(gòu)與電磁式一樣，如旋轉(zhuǎn)類產(chǎn)品作成圓柱形，直線類產(chǎn)品作成方形，但內(nèi)部結(jié)構(gòu)因其工作原理不同而差別很大。
最后，實(shí)現(xiàn)超聲波驅(qū)動(dòng)有兩個(gè)前提條件：首先，需在電機(jī)定子表面激勵(lì)出穩(wěn)態(tài)的質(zhì)點(diǎn)橢圓運(yùn)動(dòng)軌跡；其次，將定子表面質(zhì)點(diǎn)水平方向的微觀運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成轉(zhuǎn)子的宏觀運(yùn)動(dòng)或平動(dòng)。
